Jonų pluošto kūgiai

SIKAIDA jonų pluošto kūgiai yra pagrindiniai jonų pluošto implantavimo ir perdavimo sistemų komponentai. Pagaminti iš didelio grynumo pažangių keraminių medžiagų ir apdoroti tiksliai įpurškiant ir sukepinant aukštoje temperatūroje, jie pasižymi itin mažu priemaišų kiekiu, atsparumu aukštai temperatūrai ir stabiliu matmenų tikslumu. Jie gali būti apdorojami sudėtingomis geometrijomis, kad atitiktų itin aukštus tolerancijos reikalavimus, todėl jie tinka didelio našumo puslaidininkių jonų implantavimo procesams.

Kaip profesionalus gamintojas Kinijoje, SIKAIDA klientams visame pasaulyje teikia patikimus, ekonomiškus ir pritaikomus jonų pluošto kūgius puslaidininkių, plokščiųjų ekranų, optikos, mikroelektromechaninių sistemų (MEMS) ir saulės energijos srityse. SIKAIDA yra patikimas ilgalaikis tiekėjas ir speciali aukščiausios klasės jonų pluošto proceso komponentų gamybos įmonė.

Medžiagos ir gamyba

1. Medžiagos

Jonų pluošto kūgiuose naudojamos medžiagos, įskaitant aliuminio oksidą (Al2O3), kurio grynumas ≥99,9%, silicio nitridą (Si3N4), kurio grynumas ≥99,5%, cirkonio oksidą (ZrO₂), kurio grynumas yra ≥99,8% (.99%) ir f.99,9 %. Visos medžiagos atitinka griežtus puslaidininkių pramonės grynumo standartus ir yra tinkamos įvairiose srityse.

2. Gamybos procesas

Gamybos procesas apima tikslų liejimą įpurškimą, sukepinimą aukštoje temperatūroje, CNC tikslų apdirbimą, veidrodinį poliravimą ir automatizuotą valymą bei testavimą. Kiekvienas procesas yra griežtai kontroliuojamas dėl tikslumo ir kokybės, siekiant užtikrinti, kad galutinis produktas atitiktų pramonės standartus ir klientų reikalavimus.

Pagrindiniai gaminio parametrai

1. Matmenų tikslumas

Jonų pluošto kūgių leistinos nuokrypos yra ±0,05 mm, paviršiaus šiurkštumas Ra≤0,4 μm, vidinės skylės kūgio tikslumas ±0,02 mm, koaksialumas ≤0,03 mm ir statmenumas ≤0,02 mm. Šis itin didelis matmenų tikslumas efektyviai užtikrina jonų pluošto perdavimo tikslumą.

2. Paviršiaus apdorojimas

Paviršiaus apdorojimas apima mechaninį poliravimą veidrodinei apdailai, UV spinduliais kietintas dangas, kad pagerintų paviršiaus savybes, įbrėžimams atsparias dangas, kad pagerintų atsparumą dilimui, ir rūgštinį ėsdinimą bei pasyvavimą, siekiant pašalinti nešvarumus ir pagerinti stabilumą. Atsižvelgiant į taikymo reikalavimus, galima pasirinkti tinkamus gydymo metodus.

3. Veiklos rodikliai

Jonų pluošto kūgiai veikia temperatūros diapazone nuo -196 ℃ iki +800 ℃, užtikrinant stabilų veikimą ekstremaliose temperatūrose. Jų savitoji tūrinė varža yra ≥10¹⁴Ω·cm ir paviršiaus varža ≥10¹²Ω, todėl pasižymi puikiomis izoliacinėmis savybėmis. Jie taip pat pasižymi išskirtiniu atsparumu plazmai ir cheminei korozijai, todėl gali prisitaikyti prie sudėtingos proceso aplinkos.

Pagrindiniai privalumai

1. Itin aukštas grynumas: žaliavos grynumas viršija 99,9%, sumažina puslaidininkinių plokštelių užteršimą, užtikrina stabilų prietaisų elektrinį veikimą ir atitinka griežtus puslaidininkių gamybos grynumo reikalavimus.

2. Ypatingai didelis geometrinis tikslumas: užtikrina vienodus gaminio matmenis masinės gamybos metu, o kūgio paklaida kontroliuojama ±0,05 mm, o apvalumo paklaida ≤0,02 mm, tiksliai atitinkant jonų pluošto perdavimo sistemų įrengimo ir naudojimo reikalavimus.

3. Veidrodinio paviršiaus kokybė: paviršiaus šiurkštumas Ra≤0,4μm, efektyviai sumažinantis jonų pluošto sklaidą, pagerinantis jonų pluošto perdavimo vienodumą ir toliau optimizuojantis puslaidininkinių įtaisų implantavimo tikslumą.

4. Platus temperatūros diapazono stabilumas: stabiliai veikia giliai kriogeninėje ir aukštoje temperatūroje. Medžiaga turi itin mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, išlaiko puikų matmenų stabilumą net ir esant temperatūros pokyčiams, užkertant kelią temperatūrų svyravimų poveikiui.

5. Puiki izoliacija ir atsparumas korozijai: efektyviai apsaugo nuo krūvio kaupimosi jonų pluošto perdavimo metu ir atlaiko stiprias rūgštis, stiprius šarmus ir įvairias plazmos korozijas, užtikrinant ilgalaikį stabilų veikimą sudėtingose ​​procesų aplinkose.

Individualizuotos paslaugos

Gaminių modeliai ir dydžiai gali būti pritaikyti pagal skirtingus proceso reikalavimus. Palaikomi piešimo formatai yra STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF ir fiziniai pavyzdžiai. Kalbant apie pristatymo laiką, mėginio pristatymas yra 4-7 savaitės, o partijos pristatymas - 8-12 savaičių. Mūsų kokybės sistema atitinka ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH ir SEMI standartus, visapusiškai užtikrindama produktų kokybę ir pristatymo efektyvumą.

Taikymo sritys

Jonų pluošto kūgiai yra plačiai naudojami įvairiose srityse, įskaitant jonų implantatorius puslaidininkių gamyboje, apdorojimo įrangą plokščiuose ekranuose, jonų pluošto nusodinimo (IBD) ir jonų pluošto ėsdinimo (IBE) sistemas optinių įrenginių gamyboje, mikroelektromechaninių sistemų (MEMS) gamybą, jonų dopingo įrangą saulės elementams ir jonų implantavimo įrenginius, pvz., dvipolius elektros energijos perdavimo įrenginius. (IGBT) ir maitinimo MOSFET.

Dažniausiai užduodami klausimai:

1 klausimas: kokios medžiagos paprastai naudojamos jonų pluošto kūgiuose?

A1: Pirmiausia naudojame pažangias keramines medžiagas, tokias kaip didelio grynumo aliuminio oksidas (Al2O3), silicio nitridas (Si3N4) ir cirkonio oksidas (ZrO2). Šios medžiagos pasižymi itin dideliu grynumu, puikiu atsparumu aukštai temperatūrai ir stabiliomis elektrinėmis savybėmis.

2 klausimas: Ar UET gali pateikti pritaikytas specifikacijas ir paviršiaus apdorojimą? 

A2: Taip. UET gali pritaikyti kūgių dydį, kūgiškumą, medžiagos tipą ir paviršiaus apdorojimą pagal jūsų proceso reikalavimus. Turime didelę gamybos patirtį ir galime patenkinti konkrečius klientų taikymo reikalavimus.

3 klausimas: kaip garantuojamas jonų pluošto kūgių tikslumas ir kokybė?

A3: Mes naudojame ISO9001:2015 kokybės valdymo sistemą ir turime didelio tikslumo bandymo įrangą, įskaitant koordinačių matavimo mašiną, paviršiaus šiurkštumo testerį ir rentgeno fluorescencijos spektrometrą, kad užtikrintume, jog kiekviena gaminių partija atitinka griežtus pramonės standartus.

4 klausimas: koks yra pristatymo ciklas?

A4: Mėginio pristatymo ciklas yra 4–7 savaitės, o partijos produktų pristatymo ciklas yra 8–12 savaičių. Konkretus ciklas priklauso nuo produkto sudėtingumo ir užsakymo kiekio.